■纳米压痕测试
符合ISO 14577-1的纳米压痕(超微压痕硬度)测试
・对于高负载单元,可进行高达5μN至2,000 mN的测试
支持从金属材料到聚合物材料的各种材料的硬度测试
・对于轻负载单元,可适用于0.5μM至10 mN的范围
它还可以实现100nm或更小的极薄膜的纳米压痕测试
对于软质材料(弹性模量:数Gpa以下)和压痕深度为10nm以下的测量可获得优异的重复性和稳定性
适用于对诸如UV固化树脂和Low-k膜等功能性树脂,以及硅橡胶、DLC膜等超薄硬质膜之类的弹性材料的力学性能评估
■表面力测量
通过附接表面力单元,可以测量作用在物体之间的表面力
可自由选择探针,能够以接近实际系统的形式测量表面力的测量单元,在世界上尚数首次