仪器发生故障时，尤其是发生比较复杂的综合性故障，对于解决这种故障应该先从比较容易解决的故障入手，如：检修仪器的电路板，应先检查电阻、电容、电感、二极管、三极管、保险丝、接插件、指示灯、开关等，在排除这些元件故障后，再检查集成电路、大功率管、功率模块、专用传感器、微处理器IC、接口IC、存储器IC等。
2.先简后繁，先从简单的器件或部位下手，再进入复杂繁琐的电路或线路。
在维修电路时，根据仪器的电路原理，先从简单的电路开始进行，如指示灯不亮、按键失灵或接触不良、电压电流表无指示或指示异常、电源插头插座松动、保险丝是否熔断、开关接触是否可靠等。在此基础上进一步维修复杂的而繁琐主电路或线路，如变压器、继电器、接触器、电磁阀、压力传感器、过压（限压）保护开关、流量传感器等主控电路或线路。
3.先软后硬，先检查软件程序运行是否正常，再分析硬件运行是否有问题。
随着科学技术水平的发展，电脑在光谱仪中应用，使仪器的检测水平大幅度的提高，功能更趋近于智能化，许多故障都是通过电脑自带的故障诊断程序，进行综合全面的检测，如当仪器显示真空不良、温度异常、压力异常、无积分信号、通讯中断等显示时，我们必须是在此基础之上，顺藤摸瓜沿电脑指示的异常信息，去检查所对应的硬件，这样可以很快的找到故障的根源，缩短维修时间，提高工作效率。
4.先外后内， 先检查仪器外围设施，再检查仪器本身。
仪器突然整机停电不工作了，首先检查仪器的外围情况，如冷却水是否中断，水泵或水闸阀是否异常，燃气或辅助气气压是否偏低或过高，电磁阀是否失电或断路，电气开关或空气开关是否跳闸，各外部接插件是否脱落等。然后再寻找仪器本身内部的问题。
5.先辅后主，先解决仪器辅助设备问题，再解决仪器主机问题。
大型仪器往往是一套完整的体系，有许多辅助设备为其服务，当仪器系统出现故障时，应当在先检查电脑、打印机、稳压器、真空泵、空压机等辅助设施完好的情况下，再看仪器主机工作运行情况，这样才能保证整个仪器系统的完整正常的运行。
6.先人后机，先排除人为失误，在检查仪器工作情况。
任何仪器都是靠人来操作的，所以在仪器出现数据出错或是异常时，首先判断是否存在人为的问题，如在操作程序时是否输错数据，敲错键盘，点错鼠标，调错气压表或流量计指示，忘记打开或多打开某个开关，看错某些标志等。在严格按操作程序操作，并排除人为误操作的基础上，再分析仪器自身运行是否存在问题。
7. 先主后次， 即先解决主要矛盾，后解决次要矛盾。
先解决主要问题，让仪器工作起来，再解决次要问题，完善仪器各项功能。如有时仪器测得的数据不是很准确可靠，说明仪器存在某些隐患或故障，有些故障是要在仪器通电工作情况下才能去诊断，仪器无法通电工作，有些故障是无法判断的，特别是现在许多仪器的故障都是通过电脑程序自动诊断出来的 。 所以只有先让主机工作起来，在进行主机以外（或辅助的）次要的故障的维修，包括一些对主机影响不大辅助功能。
8. 先静后动，先检查静态器件和参数，再检查动态器件和参数。
有些器件及参数是工作在静态的，如开关通断、电阻值、电容容量、电路工作点、限压阀触点、过压过流保护触点等，这些器件及参数可以直接测量的，检查比较容易，所以可以先进行直观检查。对于一些动态数据如电压、电流、压力、流量、温度、湿度、数据通讯等。在排除静态元件或参数无异常之后。再进行动态数据（参数）的检查，此工作一般都是在仪器开机状态下进行。
