蒸汽气压低
较底的蒸汽压，能有效的防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油，保证有足够的极限真空。
合适的粘度
真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度。粘度指数高，泵油的粘度随温度的变化较小；而且，冷泵运行轻松，能显著节约消耗，特别在夏季，随着环境温度与泵内油温上升，油极限压力能保持良好效果。
热氧化性稳定
真空泵滑片和泵体的高速摩擦会使油温升高，油品成分容易氧化分解，会使得极限压力稳定性差，抽速也随着运行时间下降，降低工作效率。因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。
抗腐蚀和抗乳化
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；并且吸入空气中往往含有水汽冷凝水，油及水会形成乳浊液，不仅影响泵油运用寿命也使极限压力变坏。
抗泡性
运转中真空系统内气体会通过密封真空泵油层不断排出，排出气体会在油层表面产生大量气泡，并从泵排气 孔中溢出，造成油品损失与设备污染。
闪点高
从安全性的角度考虑，需要真空泵油有较高的闪点。并且，闪点高往往轻质组分油含量较少，因此当油温上升时，轻沸点油分子不易挥发，能有效地保持极限压力。
